SEMI S26 - FPD製造システムの環境，健康および安全に関するガイドライン -
Abstract
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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本安全ガイドラインは， Environmental Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2015年10月19日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。2016年5月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2008年3月発行，前版は2015年4月に発行された。
注意： 「注」の表題のついた段落は，本安全ガイドラインの公式な一部ではなく，また安全ガイドライン本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。安全ガイドラインの利用を促進するために委員会が提供したものである。
本安全ガイドラインは，サブシステムを含んだFPD製造システム (FPDMS)で実現すべき，一連の環境，健康，安全(environmental, health, and safety [EHS])上の性能基準を提供する。
適用 －
本ガイドラインは，FPD製品の製造，測定，組立て，およびテストに使用されるFPDMSおよびサブシステムに適用される。
条項の優先順位
－ 本安全ガイドラインの複数項の規定が相互に矛盾する場合は，当該技術問題を特定して取り扱う項が，より一般的な他の項に優先する。Referenced SEMI Standards
SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation
SEMI F5 — Guide for Gaseous Effluent Handling
SEMI F14 — Guide for the Design of Gas Source Equipment Enclosures
SEMI S1 — Safety Guideline for Equipment Safety Labels
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S3 — Safety Guideline for Process Liquid Heating System
SEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S7 — Safety Guideline for Evaluating Personnel and Evaluating Company Qualifications
SEMI S8 — Safety Guideline for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Manufacturing Equipment
SEMI S14 — Safety Guideline for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S21 — Safety Guideline for Worker Protection
SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
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