SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法 -
Abstract
NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.
免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本ガイドラインは，Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので，Japan Facilities Committeeが直接責任を負うものである。現版は，2002年7月19日にJapan Regional Standards Committeeにて承認された。2002年9月にまずwww.semi.orgで入手可能となり，2002年11月に発行。
NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
本文書の目的は，ガス供給システムにおける温度サイクルの漏れ性能の標準方法と手順を定義することである。
本試験方法は，半導体製造装置に設置されたガス供給システムに適用される。
Referenced SEMI Standards
SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping System and Components
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