SEMI G85 - マップデータ・フォーマット用仕様 -
Abstract
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免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。
本仕様は,Global Automated Test Equipment Committeeで技術的に承認されたもので,North American Automated Test Equipment Committeeが直接責任を負うものである。現版は2003年3月12日および2003年4月11日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認されている。2003年5月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2003年7月発行に至る。初版は2001年11月発行,前版は2003年3月発行。
本文書は,電子マッピングに関連したデータの項目が,いかにしてファイルフォーマットで表現されるかについての詳細を記述したものである。
本文書に記載の例はウエーハのためのものであるが,記述されたマップデータ・フォーマットは,ウエーハ,トレイ,ストリップまたはテープなどを含めたいかなる基板に対しても適用できる。
本文書は,マップデータ・アイテムのフォーマットに対して適用する。本文書は,伝送,ファイル名称規定,保存またはマップの記録を提言するものではない。
マップデータ・アイテムの意味は,本文書では規定していない。
Referenced SEMI Standards
SEMI G81 — Specification for Map Data Items
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