PV01500 - SEMI PV15 - 太陽電池材料の表面ラフネスおよびテクスチャをモニタするための角度分解光散乱測定条件の定義に関するガイド

SEMI PV15 - 太陽電池材料の表面ラフネスおよびテクスチャをモニタするための角度分解光散乱測定条件の定義に関するガイド -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Photovoltaic
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements/System Requirements

Revision: SEMI PV15-0211 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Photovoltaics Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年12月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年2月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。

 

太陽電池産業において用いられる多くの表面は，光吸収を最適化して太陽電池効率を最大限に高めるためにテクスチャ加工される。必要なテクスチャは通常，低周波数と高周波数のラフネスの相対量がいずれも重要であるため，単一のラフネス，グロス，またはヘイズ仕様では明確に定義されない。

 

集光角（またはいくつかの個々の角度）の範囲にわたって光散乱を測定することは，高速かつ経済的なモニタ手段となるが，ラフネス周波数の範囲にわたってテクスチャを定量化することはできない。そうした測定では，入射角，散乱角，光波長，開口，スポットサイズなどのさまざまな自由度があるため，比較可能な測定結果を得られるようにするには関係者の間で合意する必要がある。したがって，測定パラメータを一意的に定義し，関係者間で容易に交換できるようにするための手段が必要である。

 

本ガイドでは，表面テクスチャの違いにより生じる散乱パターンの変化を記述する測定を可能にするための散乱測定条件の定義に必要な用語を取り扱う。良否や望ましいか望ましくないかの区別，散乱レベルの設定，あるいは実施すべき測定の決定は意図していない。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology
SEMI ME1392 — Guide for Angle Resolved Optical Scatter Measurement on Specular or Diffuse Surfaces
SEMI MF1048 — Test Method for Measuring Reflective Total Integrated Scatter
SEMI MF1811 — Guide for Estimating the Power Spectral Density Function and Related Finish Parameters from Surface Profile Data

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