SEMI S7 - 評価要員および評価会社の資質に関する安全ガイドライン -
Abstract
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免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。
本安全ガイドラインは,Environmental Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2015年1月5日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。2015年5月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1994年発行,前版は2010年3月に発行された。
本文書の目的は,レポートユーザが評価会社および評価要員の資質を測れるようにすることである。
本文書は,SEMI「S」シリーズの文書に対する評価を行う評価会社およびそのような会社の評価要員に関して,利用可能とすべき最小限の情報を提供する。
本文書は,適用可能なSEMI「S」シリーズの文書または評価購入者によって要求されたときに,この情報をどのように伝達すべきかに関するガイダンスを提供する。
本文書は,SEMI「S」シリーズの文書に対する評価を行う評価会社および評価要員の資質に関するガイダンスを提供する。
本文書には次が含まれる。
- 目的
- 範囲
- 制限
- 参照スタンダードおよび文書
- 用語
- 総則
- 評価会社の資質
- 評価要員の資質
- 専門知識領域
Referenced SEMI Standards
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S3 — Safety Guidelines for Process Liquid Heating Systems
SEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S14 — Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S22 — Safety Guideline for Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System
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