C00306 - SEMI C3.6 - シリンダ中のホスフィン（PH3），品質99.98% の仕様

SEMI C3.6 - シリンダ中のホスフィン（PH3），品質99.98% の仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C3.6-0710 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1981年発行。前版は，2001年7月発行。

 

本文書の目的は，半導体産業で使用されるホスフィン(PH3)の仕様を提供することである。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI C3 - Specifications for Gases

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