SEMI C3.6 - シリンダ中のホスフィン(PH3),品質99.98% の仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1981年発行。前版は,2001年7月発行。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用されるホスフィン(PH3)の仕様を提供することである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C3 - Specifications for Gases

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00 $180.00