C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様

SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1984年発行。前版は2002年11月発行。

　

注意:　本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本文書の目的は，半導体産業で使用されるジシラン(Si2H6)の仕様を提供することである。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Specifications for Reagents
SEMI C3 — Specifications for Gases

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