SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素(BF3),シリンダ充填, 99.0%品質の仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201110月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1984年発行。前版は200211月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用されるジシラン(Si2H6)の仕様を提供することである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Specifications for Reagents
SEMI C3 — Specifications for Gases

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00