SEMI C3.35 - 塩化水素(HCl),品質99.997%の仕様

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年9月4日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年10月にwww.semi.orgで，そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1988年月発行，前版は2001年11月に発行された。

本スタンダードは，2010年5月，誤りを訂正するため編集上の修正が行われた。¶ 7.4.4.4に続く式3が追加された。

本文書の目的は，半導体産業で使用される塩化水素（HCl）の仕様を提供することである。

None.

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.