C00335 - SEMI C3.35 - 塩化水素(HCl),品質99.997%の仕様
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type:
Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年9月4日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年10月にwww.semi.orgで,そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1988年月発行,前版は2001年11月に発行された。
本スタンダードは,2010年5月,誤りを訂正するため編集上の修正が行われた。¶ 7.4.4.4に続く式3が追加された。
本文書の目的は,半導体産業で使用される塩化水素(HCl)の仕様を提供することである。
Referenced SEMI Standards
None.
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