SEMI C3.35 - 塩化水素(HCl),品質99.997%の仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は200994日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。200910月にwww.semi.orgで,そして200911月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1988年月発行,前版は200111月に発行された。

 

本スタンダードは,20105月,誤りを訂正するため編集上の修正が行われた。¶ 7.4.4.4に続く式3が追加された。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用される塩化水素(HCl)の仕様を提供することである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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