C00340 - SEMI C3.40 - 四フッ化炭素(CF4),99.997%品質の仕様
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type:
Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年10月発行。
本文書の目的は，半導体産業で使用される四フッ化炭素(CF4)の仕様を提供することである。
Referenced SEMI Standards
None.
Related Products
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
Member Price:
$135.00
Regular price
Non-Member Price:
$180.00