SEMI C3.40 - 四フッ化炭素(CF4),99.997%品質の仕様
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type:
Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年10月発行。
本文書の目的は，半導体産業で使用される四フッ化炭素(CF4)の仕様を提供することである。
Referenced SEMI Standards
None.
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