C00340 - SEMI C3.40 - 四フッ化炭素（CF4），99.997%品質の仕様

SEMI C3.40 - 四フッ化炭素（CF4），99.997%品質の仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C3.40-1011 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年10月発行。

　

本文書の目的は，半導体産業で使用される四フッ化炭素(CF4)の仕様を提供することである。

　

Referenced SEMI Standards

None.

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