SEMI C3.51 - 三塩化ホウ素(BCl3),品質99.98%の仕様 -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C3.51-1101 (Withdrawn 0312) - Replaced



NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。



本スタンダードは,Gases Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月34日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年3月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。2011年11月発行に至る。初版は1995年発行。


NOTICE: This Document was balloted and approved for withdrawal in 2012; it has been replaced by SEMI C71.




本仕様は,0.5 µmまたはそれ以下(0.35~0.5 µm範囲)に関係し,気相分析を用いた分析テクニックを述べる。


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