SEMI C3.51 - 三塩化ホウ素(BCl3),品質99.98%の仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Gases Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月34日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年3月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。2011年11月発行に至る。初版は1995年発行。

 

NOTICE: This Document was balloted and approved for withdrawal in 2012; it has been replaced by SEMI C71.

 

BCl3のための仕様と分析法を決めること,および仕様を確立すること。

 

本仕様は,0.5 µmまたはそれ以下(0.35~0.5 µm範囲)に関係し,気相分析を用いた分析テクニックを述べる。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00