C00354 - SEMI C3.54 - シラン（SiH4）のガス純度ガイドライン

SEMI C3.54 - シラン（SiH4）のガス純度ガイドライン -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C3.54-0200E (Withdrawn 1011) - Withdrawn

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2006年9月発行。

　

注意: 本文書は，2011年，バロット投票により廃止が承認された。

　

シランは，自然性，引火性の無色のガスである。

　

Referenced SEMI Standards

None.

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