SEMI C3.54 - シラン(SiH4)のガス純度ガイドライン

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201110月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は20069月発行。

 

注意: 本文書は,2011年,バロット投票により廃止が承認された。

 

シランは,自然性,引火性の無色のガスである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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