SEMI C3.56 - ジボラン混合ガスの仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20111224日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20123月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20006月発行。

 

ジボラン混合ガスの仕様と分析方法を定義し,その仕様の有効性を確認する。

 

ジボランは,純粋ガスとしては使われず,N2H2ArHeSiH4等のバランスガスとの混合ガスとして使われる。

 

この混合ガスの性質は,下記の点を含むいくつかの要因の影響を受ける。

  • 混合ガス作成に使用するガスの純度
  • 構成ガスの充填精度
  • シリンダ準備工程およびシリンダ内側表面とジボランのその場での化学反応。

 

更に,ジボランが化学的に不安定なため分解すること(付属書1参照)から,充填後の経過時間が重要となる。

 

構成要素のガスはすべて,SEMI仕様があれば,その該当仕様に従わなければならない。

 

最終混合ガスの品質は,製造後各シリンダ中のジボランの濃度と,主な不純物(トレーサー),すなわちH2N2O2を分析してチェックすることが出来る。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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