SEMI C3.58 - 八フッ化シクロブタン(C4F8),電子グレード,シリンダ充填,品質99.999%の仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは, Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年3月発行。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用される八フッ化シクロブタン (C4F8) の仕様を提供するものである。

 

本文書は,半導体産業で使用される八フッ化シクロブタン (C4F8) の要求事項を含む。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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