SEMI C6.3 - パイプラインガスとして授受されるグレード20/0.2水素(H2)に対するパーティクル仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

スタンダードは,Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1989年発行。前版は2003年3月発行。

 

NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee. It has been replaced by SEMI C97.

 

本書の目的は,(1) 20/0.2水素ガスの最大許容パーティクル濃度を設定すること(2)その確認のための基準方法を記述することである。

 

本書はパイプラインを通して授受される水素ガスにのみ適用される。シリンダ充填ガスまたは液体状のガスには適用されない。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00 $180.00