SEMI C6.4 - パイプラインガスとして授受されるグレード20/0.02窒素(N2)およびアルゴン(Ar)に対するパーティクル仕様 -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C6.4-90 (Reapproved 1111) - Replaced



NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。



本スタンダードは,Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1990年発行。前版は2002年11月発行。


NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee. It has been replaced by SEMI C97.


本ドキュメントの目的は,(1) 20/0.02グレードの窒素およびアルゴンバルク供給ガスの最大許容パーティクル濃度を設定すること(2)その確認のための基準方法を記述することである。




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