SEMI C6.7 - 高圧ガスシリンダ中のグレード10/0.2窒素に対するパーティクル仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2002年11月発行。

 

NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee. It has been replaced by SEMI C97.

 

この文書の目的は,(1) 10/0.2グレード,シリンダ充填窒素に対する最大許容パーティクル濃度の設定,および(2)その確認のための基準方法の記述である。

 

この仕様は,高圧ガスシリンダに充填された窒素に適用される。パイプライン・ガスには適用されない。

 

窒素シリンダは,3つの部品から構成される:(1)シリンダ・ボトル,(2)充填された圧縮窒素,および(3)シリンダ・バルブ。それぞれの部品がパーティクルのソースとなり得る。この仕様は,規定条件下でシリンダから得られるガス中に検出されるパーティクルの総数に適用される。パーティクル源は考慮されない。

 

減圧器は,制御されない場合,多数の人工的パーティクルを疑集,疑縮を通して生じ得ることが知られている。この生成を防ぐために,この仕様は200 bar (3000 psi) までの圧力において稼働するパーティクルカウンターを採用し,圧力逓減とそれに関連する問題に対する必要を無くしている。

 

シリンダ・ガス中のパーティクル含有量は,時間と共に変化することが知られている。なぜなら,パーティクルは拡散または沈降によりシリンダ壁面に失われ,またフロー・パルスまたは機械的衝撃によりシリンダ壁面から分離するからである。典型的なガスシリンダの取り扱いを表わす最悪の条件下で,パーティクル濃度を測定することが重要である。この仕様は,上述の要求条件を満たす標準衝撃を記述し,また衝撃直後にパーティクルをカウントする手順を提供する。

 

このテスト方法を複数のシリンダに対して使用する場合は,各シリンダをテストしなければならない。シリンダ・ガス中のパーティクル汚染は個別のシリンダの取り扱い履歴と強い関係があることが知られている。同時に充填した複数のシリンダは,それぞれ異なるユーザから異なる期間の使用の後に返却されるのが通常である。同時に充填したシリンダに対する品質の統一には,各シリンダについて充填以前の履歴の跡を消し去る専用の処理が必要である。従って,10%または20%のバッチ・サンプリングでは,シリンダごとの重大な差異があるため受け入れられない。

 

100%サンプリングの要求条件は,サンプリング目的で使用される各シリンダ中のガスの総量を制限する。この制限は,低濃度レベルにおけるパーティクルサンプリングに対する統計的要求を緩和する。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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