SEMI C10 - MDL(定量下限値)決定に関するガイド

Volume(s): Gases / Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2014年8月25日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2014年11月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年発行,前版は2009年11月に発行された。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

SEMIプロセスケミカルまたはガス仕様のデータに基づいて,定量下限値 (MDL: method detection limit) の決定方法について必要最小限のガイドラインを提示する。

 

このガイドは,SEMIプロセスケミカルまたはガススタンダードおよびガイドに指定された微量不純物に適用される。該当するすべての微量不純物について,校正曲線の回帰分析に基づいて,それぞれの仕様と同等またはそれ以内のMDLを決定すべきである。このガイドはSEMI仕様に対する性能の検証およびSEMIにおける新規仕様の制定の両面への適用を意図している。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C16 — Guide for Precision Reporting/Data Traceability

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00