SEMI C15 - PPMおよびPPB水分標準のためのテスト方法

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年2月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2002年11月発行。

 

本テストは,物理的原理に基づいた本スタンダードに対して予測値と一致するしないは別として,標準ガス状水分で供給された水分量を定量する。期待性能からの偏差が妥当であるかまたは疑わしいとき,そして必要と思われるときは,これらを使用状態に最初に設置する前に,本方法が標準水分を立証するのに使用されることを期待する。

 

テスト方法は,信頼できる水分分析方法の存在を想定している。広範囲にわたる予防措置を,分析の妥当性を確立するために述べたが,テストは分析装置の予測できないいくらかの欠陥を通じて,誤った結果を生み出すことがある。

 

この水分の発生は,多くの過ちに陥りがちであるので,スタンダードによって供給された予測水分濃度と分析によって測定されたレベルが,一致することを要求する。同意されたレベルは,標準水分に対して要求される正確さの度合いに依存して変わる。しかしどんな場合でも,測定し予測した結果は,水分基準の全レンジにわたって10%以内にあるべきである。もしそうでなければ,予測に基づき,どんな他のパラメータでも疑わしいと思われたものは,物理的測定で確証した後に,妥当性検査を繰り返すべきである。

 

もし説明された水分濃度が,物理の基本的原理に基づいて予測できるなら,この方法は,ppmレンジまたはそれ以下の水分量を供給しているどんなタイプのガスの基準に対しても,適用できると考える。このようにして,分析による特性づけのみにもっぱら依存しているどんなスタンダードも,明確に除外される。

 

このテストの一部分として,標準水分の検定に使用するのに適切であると思われる,ある水分分析器を検定するための手順を述べる。他の応用に計画された水分分析器は,異なった基準を満足するために必要となる場合がある。

 

現在使用できる最も正確で,信頼できる水分分析器を,ppmレンジで主に操作するとき,このテストは,このレンジにおける標準水分の妥当性検査に関心を集めている。ppm水分標準のアウトプットをppbレンジに減らすための手順を詳細に述べることにより,このppb標準水分の必要性が取り扱われる。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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