SEMI C29 - 4.9%フッ化ケイ素酸(10:1 V/V)の仕様とガイドライン

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様とガイドラインは,Global Process Chemicals Committeeで技術的に承認されたもので,North American Process Chemicals Committeeが直接責任を負うものである。現版は19991017日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。20012月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,20013月発行に至る。本文書は,SEMI C7.4C8.4C12.3を全面改訂したものであり,初版は1990年,1992年,1995年にそれぞれ発行,前版は19996月発行。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用される4.9%フッ化ケイ素酸に対する要求条件を標準化し,またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は,統計的に有効な結果を示している。本文書は,4.9%フッ化ケイ素酸(10:1 V/V)に対して要求が認められたグレードのガイドラインも示す。ガイドラインの場合は,試験方法は統計的に有効となっていない場合がある。

 

本文書の範囲は半導体産業で使用される4.9%フッ化ケイ素酸の全てのグレードである。

 

本スタンダードは,その使用に関連した全ての安全問題を取り扱うことを意図していない。このスタンダードの使用者は,その責任において,適切な安全及び健康上の作業方法を確立し,また使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C28 — Specifications and Guidelines for Hydrofluoric Acid

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00