C03700 - SEMI C37 - りん腐食剤の仕様

SEMI C37 - りん腐食剤の仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C37-0706 (Reapproved 0611) - Inactive

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1981年発行。前版は2006年7月発行。

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。

　

本文書の目的は，半導体産業で使用されるりん腐食剤に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。本文書は，りん腐食剤に対して要求が認められたグレードのガイドラインも示す。ガイドラインの場合は，試験方法は統計的に有効となっていない場合がある。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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