SEMI C37 - りん腐食剤の仕様

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1981年発行。前版は20067月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用されるりん腐食剤に対する要求条件を標準化し,またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は,統計的に有効な結果を示している。本文書は,りん腐食剤に対して要求が認められたグレードのガイドラインも示す。ガイドラインの場合は,試験方法は統計的に有効となっていない場合がある。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00