SEMI C41 - 2-プロパノールの仕様とガイドライン

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本仕様とガイドラインは,,Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommitteeで2005年4月7日に発行が承認された。2005年6月にwww.semi.orgで。初版は1978年発行,前版は2003年に発行。

 

注意:本文書は2005年全面的に書き換えられた。

 

注意:「注」の表題のついた段落は,本文書の公式な一部ではなく,またその内容の変更や書き換えを意図したものではない。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用される2-プロパノールに対する要求条件を標準化し,またこれらのスタンダードをサポートするテスト手順を標準化することである。テスト方法は,統計的に有効な結果を示している。

 

本文書の範囲は半導体産業で使用される2-プロパノールの全てのグレードである。

 

本純度レベルは,0.8~1.2 µm の寸法をもった半導体デバイスによって通常要求される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00