C04200 - SEMI C42 - 水酸化ナトリウム（固体）の仕様

SEMI C42 - 水酸化ナトリウム（固体）の仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C42-1110 - Inactive

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年8月27日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年10月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1978年発行。前版は2005年11月発行。

 

本文書の目的は，半導体産業で使用される水酸化ナトリウム（固体）に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。SEMI C1の通り代替法の妥当性が確認されたなら，それを使用してもよい。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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