SEMI C43 - 水酸化ナトリウム50%溶液の仕様

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2010827日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201010月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年発行。前版は200511月に発行された。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用される水酸化ナトリウム50%溶液に対する要求条件を標準化し,またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は,統計的に有効な結果を示している。SEMI C1の通り代替法の妥当性が確認されたなら,それを使用してもよい。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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