SEMI C45 - テトラエトキシシラン (TEOS) ガイドラインと仕様

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Process Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年1月2日,global Audits and Review Subcommitteeにて発行が承認された。2009年2月にwww.semi.orgで。初版は1999年6月発行,前版は2001年3月に発行された。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用されるテトラエトキシシランに対する要求条件を標準化し,またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は,統計的に有効な結果を示している。

 

本文書の範囲は半導体産業で使用されるテトラエトキシシランの全てのグレードである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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