C04600 - SEMI C46 - 25%テトラメチル水酸化アンモニウムのガイド

SEMI C46 - 25%テトラメチル水酸化アンモニウムのガイド -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C46-0812 - Inactive

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Liquid Chemicals Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年6月18日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年8月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1991年発行。前版は2006年3月発行。

　

本文書の目的は，25%テトラメチル水酸化アンモニウムに対して要求が認められたグレードのガイドを示すことである。

　

本文書の範囲は半導体産業で使用される25%テトラメチル水酸化アンモニウムの提案された不純物限度の一覧作成である。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemical.

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