SEMI C46 - 25%テトラメチル水酸化アンモニウムのガイド

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Liquid Chemicals Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012618日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20128月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1991年発行。前版は20063月発行。

 

本文書の目的は,25%テトラメチル水酸化アンモニウムに対して要求が認められたグレードのガイドを示すことである。

 

本文書の範囲は半導体産業で使用される25%テトラメチル水酸化アンモニウムの提案された不純物限度の一覧作成である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemical.

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