SEMI C47 - トランス1,2ジクロロエチレンのガイドライン

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2006516日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20066月にwww.semi.orgで,そして20067月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1995年発行,前版は1999年に発行された。


注意: 本文書は2006年全面的に書き換えられた。




Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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