SEMI C47 - トランス1，2ジクロロエチレンのガイドライン -

Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

 

注意：　本文書は、2006年、全面的に書き換えられた。

 

本文書の目的は，トランス1，2ジクロロエチレンに対して要求が認められたグレードのガイドラインを示す。

本文書の範囲は半導体産業で使用されるトランス1，2ジクロロエチレンの提案された不純物限度の一覧作成である。

 

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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