C05000 - SEMI C50 - トリメチルホスフィンのガイド

SEMI C50 - トリメチルホスフィンのガイド -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI C50-1110 - Inactive

Revision

Abstract

本仕様は，global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年8月27日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年10月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2005年11月発行。

 

本文書の目的は，半導体産業で使用されるトリメチルホスフィンに対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

You May also Like