C05200 - SEMI C52 - 特殊ガスの貯蔵寿命に関する仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20001220日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20011月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20013月発行。


注意: 本文書は,編集上の修正を伴って再承認された。




この文書は, 適切にパッケージされ,充填され, 分析された特殊ガスが,特殊ガス製造者またはサプライヤによって保管された際の貯蔵寿命に適用される。本書では,貯蔵寿命は品質の観点でとらえられている。本書はガスの長期保管に関する安全面は取り扱わない。


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