SEMI C53 - ジメチルスルホキシド(DMSO)[グレード1および2]の仕様

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2004430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20046月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年発行。前版は200211月発行。前版は20047月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し,また,要求事項に対して立証するためのテスト手順を標準化することである。このテスト方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている。

 

本書面の範囲は半導体産業で使用する全グレードのDMSOである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00