SEMI C53 - ジメチルスルホキシド(DMSO)[グレード1および2]の仕様

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

Notice: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項:このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し,また,要求事項に対して立証するためのテスト手順を標準化することである。このテスト方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている。

 

本書面の範囲は半導体産業で使用する全グレードのDMSOである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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