C06400 - SEMI C64 - 統計的出荷管理に関するSEMIガイドライン

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。



出荷管理 (STC) 限界を規定および維持する目的で,プロセスデータから統計的に導かれる限界値を定量的に決定するためのガイドラインを提示する。




Referenced SEMI Standards

SEMI C10 — Guide for Determination of Method Detection Limits

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