SEMI C69 - ポリマーペレットの表面積を測定するための試験方法 -
Abstract
本スタンダードは，global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。
本書は，ポリマーペレットの表面積を測定するための試験方法を規定する。
様々なマイクロエレクトロニクス産業に使用されるポリマー製品において，原材料のポリマーペレットの表面積を比較的正確日本語版把握することは重要である。例えば，ポリマーペレットは，ブロー成形，回転成形，射出成形，押し出し成形によって製造される高純度成分の薬液配管部品やライニングシートに使用される。ポリマーペレットと完成ポリマー製品の汚染レベルを関連付ける際，ポリマーペレットの汚染レベルを算出するにあたって，表面積を把握することは重要である。
Referenced SEMI Standards
SEMI F40 — Practice for Preparing Liquid Chemical Distribution Components for Chemical Testing
SEMI F48 — Test Method for Determining Trace Metals in Polymer Materials
SEMI F57 — Provisional Specification for Polymer Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems
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