EMI C70 - 六フッ化タングステン(WF6)の仕様

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用される六フッ化タングステン(WF6)の仕様を提供するものである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals


SEMI C3 — Specifications for Gases


SEMI C10 — Guide for Determination of Method Detection Limits



Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00