SEMI C70 - 六フッ化タングステン(WF6)の仕様 -
Abstract
本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。
本文書の目的は,半導体産業で使用される六フッ化タングステン(WF6)の仕様を提供するものである。
Referenced SEMI Standards
SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals SEMI C3 — Specifications for Gases SEMI C10 — Guide for Determination of Method Detection Limits
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
C0700 - SEMI C70 - 六フッ化タングステン(WF6)の仕様
Sale price$224.00 USD
Regular price$180.00 USD (/)
This product has no reviews yet.