SEMI C71 - 三塩化ホウ素(BCI3)の仕様およびガイド
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type:
Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。
本文書の目的は，半導体産業で使用される三塩化ホウ素(BCl3)の仕様およびガイドを提供することである。
Referenced SEMI Standards
SEMI C3 — Specifications for Gases
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