SEMI C71 - 三塩化ホウ素(BCI3)の仕様およびガイド

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。

 

本文書の目的は,半導体産業で使用される三塩化ホウ素(BCl3)の仕様およびガイドを提供することである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C3 — Specifications for Gases


Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00