SEMI C77 - 最小可測粒径が30nmから100nmの範囲にある液中パーティクルカウンタの計数効率を求める試験方法

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Liquid Chemicals Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012830日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20129月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。

  

この文書は,最小可測粒径が30nmから100nmの範囲にある液中パーティクルカウンタの計数効率を求めるための試験手順を提供する。

 

この文書は,粒子個数濃度が定量された試験粒子懸濁液を試料に用いた,液中パーティクルカウンタの計数効率試験の試験システムを対象とする。

 

この文書では,液中パーティクルカウンタの計数効率試験の条件を定義する。

 

以下の内容をこの文書の対象範囲とする。

  • ポリスチレンラテックス(PSL)粒子懸濁液の原液の質量濃度
  • 流体,流量,圧力,体積,PSL粒子個数濃度など,希釈率を求める要素,条件
  • 被試験器(EUT)である液中パーティクルカウンタの種類(形式)
  • PSL粒子の種類(形式)
  • 試験記録書の記載内容

 

Referenced SEMI Standards

SEMI F63 — Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing
SEMI F104 — Particle Test Method Guidelines for Evaluation of Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems

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