C07700 - SEMI C77 - 最小可測粒径が30nmから100nmの範囲にある液中パーティクルカウンタの計数効率を求める試験方法

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Liquid Chemicals Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012830日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20129月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。









  • ポリスチレンラテックス(PSL)粒子懸濁液の原液の質量濃度
  • 流体,流量,圧力,体積,PSL粒子個数濃度など,希釈率を求める要素,条件
  • 被試験器(EUT)である液中パーティクルカウンタの種類(形式)
  • PSL粒子の種類(形式)
  • 試験記録書の記載内容


Referenced SEMI Standards

SEMI F63 — Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing
SEMI F104 — Particle Test Method Guidelines for Evaluation of Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems

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