D00600 - SEMI D6 - LCDマスク基板の仕様

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Flat Panel Display – Mask Committeeで技術的に承認されている。現版は20101221日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20112月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1992年発行,前版は20083月に発行された。

 

本仕様は,液晶ディスプレイ(LCD)用マスクの製造に使用される標準基板を規定するものである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI P1 — Specification for Hard Surface Photomask Substrates

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