SEMI D9 - FPD基板の用語 -
Abstract
本用語集は，FPD Materials and Components Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese FPD Materials and Components Committeeが直接責任を負うものである。現版は2003年1月10日にJapanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2003年1月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2003年3月発行に至る。初版は1994年発行，前版は2001年11月発行。
本文書は，FPD基板の内部および表面上の物質や欠陥の用語と定義，ならびに寸法特性・熱特性・化学特性・光学特性・機械特性を提供する。
本用語集と定義は，FPD製造に使用されるフロント基板とバック基板に適用される。
Referenced SEMI Standards
SEMI D3 — Quality Area Specification for FPD Substrates SEMI D5 — Standard Size for FPD Substrates SEMI D7 — FPD Glass Substrate Surface Roughness Measurement Method SEMI D11 — Specification for FPD Glass Substrate Cassettes SEMI D12 — Specification for Edge Conditions of FPD Substrates SEMI D15 — FPD Glass Substrate Surface Waviness Measurement Method SEMI D24 — Specification for Glass Substrates Used to Manufacture Flat Panel Displays
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