SEMI D11 - FPD用ガラス基板の耐薬品性テスト方法

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項:

 このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,

Flat Panel Display – Factory Automation Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2009513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20097月にwww.semi.orgで。初版は1995年発行,前版は20037月に発行された。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本文書は

FPD用サブアセンブリならびにマスクの製造および加工に際し,ガラス基板と共に使用されるカセットについて述べたものである。

 

本文書は長方形の

FPDガラス基板をある枚数収納するカセットに適用される。選択された用語,定義並びに仕様概略が含まれている。枚葉用ガラス基板カセットの仕様は他文書で記述される予定である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI D3 — Quality Area of FPD Substrates
SEMI D5 — Standard Size for FPD Substrates
SEMI D6 — Standard Size and Thickness for Flat Panel Display Mask Substrates

SEMI D9 — Terminology for FPD Substrates

SEMI D21 — Definitions for Flat Panel Display Masks

SEMI E1 — Specification for 3, 100 mm, 125 mm, and 150 mm Plastic and Metal Wafer Carriers

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00