SEMI D15 - FPDガラス基板の表面うねりの測定方法

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本測定方法は,Global Flat Panel Display Committeeで技術的に承認されたもので,Japanese FPD Materials and Components Committeeが直接責任を負うものである。現版は,2003428Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。20036月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,20037月発行に至る。初版は199612月発行。

 

この文書は,触針式,光学触針式測定器および光学干渉計式平面度測定器を使用した,FPDガラス基板の表面うねりの測定方法について規定する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI D3 — Quality Area Specification for Flat Panel Display Substrates
SEMI D9 — Definitions for Flat Panel Display Substrates

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