D01600 - SEMI D16 - FPDマテリアルハンドリングシステムとツールポート間の機械的インタフェース仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware / Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,

Flat Panel Display Equipment Committeeで技術的に承認されたもので,North American Flat Panel Display Committeeが直接責任を負うものである。現版は19987月にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。19987月にまずSEMI On Lineで入手可能になり,19989月発行に至る。

 

本仕様は

FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。これらの主要要求事項は,それらを標準化することによって,搬送装置とツール間のインタフェースをうまく機能することにある。この標準化は,マテリアルハンドリング装置の選択に自由度を持たせて,コスト低減に配慮したインタフェースを奨励することを目的とする。

 

これらスタンダードは,プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し,また,ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これら特徴は,特定の機能のためであるが,特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり,ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。したがって,プロセスツールポートと,コンベヤのような連続した直接

WIP搬送のインタフェース,あるいは,AGVのような当面の個別設計ビークルとのインタフェース,に有効である。このスタンダードに採用した寸法は,カセット搬送同様,枚葉搬送の場合にも適用する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI D5 — Standard Size for Flat Panel Display Substrates
SEMI D11 — Specification for Flat Panel Display Glass Substrate Cassettes

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