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SEMI D17 - FPDガラス基板搬送用カセットの機械的仕様 -
Abstract
本仕様は，Global Flat Panel Display – Equipment Committeeで技術的に承認されたもので，North American Flat Panel Display Committeeが直接責任を負うものである。現版は1999年12月15日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。2000年1月にまずSEMI On Lineで入手可能になり，2000年2月発行に至る。初版は1998年9月発行。
本仕様は，FPDとしての処理をした基板を，その工程からディスプレイメーカーへ，またはプロセスを施すユーザ間で輸送するのに使用するカセットについて要求条件を選び出して規定する。
本文書は，SEMI D18「フラットパネルディスプレイ基板の水平搬送と格納に使用されるカセットの仕様」から関連する寸法データを取り入れている。
本スタンダードは，クリーンなガラス基板とプロセスを施した基板を，基板の完全性を損なわずに組織間輸送に使用する再使用可能なカセットの仕様レベル合わせを目的とする。このスタンダードは，変更の必要性を最低限に抑える適切な仕様レベルの設定をするものであり，同時に，搬送，自動カセット操作モード，同様なロボット要素で基板が扱いやすくなること，との間の共通のメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性をすすめるものである。
このスタンダードはその使用に関連したすべての安全問題を取り扱うことを意図していない。このスタンダードの使用者は，その責任において，適切な安全および健康上実施すべき事柄を確立し，また使用前に法規制やその他の制限への適用性を判断するものである。
Referenced SEMI Standards
SEMI D18 — Specification for Cassettes Used for Horizontal Transport and Storage of Flat Panel Display Substrates
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
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