D01800 - SEMI D18 - FPD基板水平搬送用および保管用カセット仕様

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,

Flat Panel Display Equipment Committeeで技術的に承認されたもので,North American Flat Panel Display Committeeが直接責任を負うものである。現版は,1998815日にNorth American Regional Standards Committeeに承認されている。19989月にまずwww.semi.orgで入手可能となり,19992月発行に至る。

E

本文書は200010月にフォーマットエラーのため編集上の修正が行なわれ,図5が変更となる。

 

本仕様は,

FPD製造装置で0.7 mm1.1 mm厚のガラス基板の水平搬送や保管に使用するカセットについて規定する。

 

本スタンダードは,適切な仕様レベルを設定することを目的とし,すべてのメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を確保しつつ,技術革新への制限を最小限にしようとするものである。本仕様では,目的とする基板の表面の条件をあまり制限せず,その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義することにより,ほとんどの要求条件を代数的に表現している。カセットのメカニカルインタフェースだけが規定されている。すなわち,材料に対する要求条件やミクロでの汚染の制限などは規定されていない。ただし,本スタンダードは色々な設計や材料のカセットがこれに準拠して製造されるようにまとめている。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI D3 — Quality Area Specification for Flat Panel Display Substrates
SEMI D5 — Standard Size for Flat Panel Display Substrates
SEMI D6 — Standard Edge Length and Thickness for Flat Panel Display Mask Substrates
SEMI D9 — Definitions for Flat Panel Display

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