SEMI D20 - FPDマスク欠陥の用語

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,

global Flat Panel Display – Mask Committeeで技術的に承認されている。現版は2006516日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20066月にwww.semi.orgで,そして20067月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1993年発行,前版は200010月発行。

 

この文書は,

FPD用マスクの欠陥用語を定義する。このスタンダードにより,技術会議や商談の場などで使用される用語が明確になり,マスクに関する標準化が促進されることをねらいとしている。

 

これらの用語は,主に

FPDを製造するのに使用するフォトマスクに適用される。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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