SEMI D24 - FPD用ガラス基板の仕様 -
Abstract
NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.
免責事項：
このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本スタンダードは，
Flat Panel Display – Factory Automation Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年5月16日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2006年6月にwww.semi.orgで。初版は2000年2月発行。
NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
本スタンダードは，フラットパネルディスプレイの製造に使用されるガラス基板の所定の幾何学的要求事項を規定する。
本スタンダードは，フラットパネルディスプレイ製品の再生産性およびすべてのベンダーが出荷するガラス基板の均一性を確保するために，ガラス基板に関する一定レベルの仕様を設けることを目的とする。また，本スタンダードにより，搬送装置およびカセット，製造装置内部のすべての機械的インタフェースの互換性も確保される。
Referenced SEMI Standards
SEMI D3 — Quality Area Specification for Flat Panel Display Substrates
SEMI D4 — Method for Referencing Flat Panel Display Substrates
SEMI D5 — Standard Size for Flat Panel Display Substrates
SEMI D6 — Specification for Liquid Crystal Display (LCD) Mask Substrates
SEMI D7 — FPD Glass Substrate Surface Roughness Measurement Method
SEMI D9 — Terminology for FPD Substrates
SEMI D12 — Specification for Edge Condition of Flat Panel Display (FPD) Substrates
SEMI D15 — FPD Glass Substrate Surface Waviness Measurement Method
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