SEMI D28 - AGV, RGV, MGV を用いたFPD用搬送装置とツールポートの間の機械的インタフェースの仕様

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項:

 このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,

Flat Panel Display - Factory Automation Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2008513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20086月にwww.semi.orgで。初版は200111月に発行された。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本仕様は

FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。 これら主要要求事項の目的は,それを標準化することによって,搬送装置とツール間のインタフェースをうまく機能させることにある。 この標準化は,搬送装置の選択に自由度を持たせながら,コスト低減に配慮したインタフェースを奨励することを目的とする。

 

本仕様は,プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し,また,ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これらの特徴は,特定の機能のためであるが,特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり,ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00