D02800 - SEMI D28 - AGV, RGV, MGV を用いたFPD用搬送装置とツールポートの間の機械的インタフェースの仕様

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.






Flat Panel Display - Factory Automation Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2008513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20086月にwww.semi.orgで。初版は200111月に発行された。


NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.



FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。 これら主要要求事項の目的は,それを標準化することによって,搬送装置とツール間のインタフェースをうまく機能させることにある。 この標準化は,搬送装置の選択に自由度を持たせながら,コスト低減に配慮したインタフェースを奨励することを目的とする。




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