SEMI D32 - FPDガラス基板のオリエンテーションコーナ統一にともなう情報管理改善の仕様

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項:

 このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,

Flat Panel Display – Factory Automation Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2009513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20096月にwww.semi.orgで。初版は20033月に発行された。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本仕様は,二次元のコードシンボルとそれに関連する英数字(読取用カメラとディスプレイで読み取り可能なもの)から成り,

FPD用ガラス基板の有効範囲外に刻印されるマーキングシンボルの位置・寸法・情報量を規定する。

本仕様におけるマーキングシンボルは,従来の

OC(オリエンテーションコーナ)により識別していた情報に加え,基板ごとのID等の情報を加えることができる。

 

このため本仕様により,

FPD用ガラス基板サプライヤは,出荷前にこれらの情報を基板上のOCの周囲1箇所にマークすることで,基板情報管理を簡素化できる。さらに,このマーキングシンボルを使用することで,従来使用しているOCカットの形状の膨大な種類を,将来は削減することが可能になる。

 

本仕様に記述されるマーキングシンボルは,

FPD用ガラス基板のサプライヤとユーザにより使用されることを目的としている。

 

本仕様では標準的な

OC位置を規定して,将来的にはOCカット形状も同様に統一されることを支持している。これが成し遂げられたとき,仕様の暫定的な部分は削除される。

 

本仕様では,

FPD用ガラス基板の有効範囲外に刻印されるマーキングシンボルの内容・寸法・位置(表面上の)を記述している。

 

このマーキングシンボルは,ユーザのパターンプロセスに影響しない方法と位置でマークされる。

 

本仕様では,各要求条件を満たすにあたってどのマーキング手法を使用するかは規定していないが,マーキングシンボルは個々のドットをレーザで書き込むものと想定している。

 

マーキングシンボルは,新品基板からフルにパターン化済みの基板まで,

FPDプロセスのすべての工程に適用できる。データマトリクスコードのフォーマットとアルゴリズムは,ISO/IEC 16022に規定された二次元記号表示に準拠している。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00