SEMI D40 - FPD基板の「たわみ」に関する用語

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項:

 このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,

Flat Panel Display - Factory Automation Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので,Japanese Flat Panel Display - Factory Automation Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004430Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。20046月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,20047月発行に至る。

 

本文書は,

FPD基板が静的に保持された場合の物理的搬送に関する用語とその定義を定める。

 

ここで扱う用語と定義は,

FPD製造における前工程ならびに後工程の双方の基板に適応されるものとする。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI D9 ¾ Terminology for FPD Substrates
SEMI D25 ¾ Specification for Flat Panel Display Substrate Shipping Case

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