SEMI D40 - FPD基板の「たわみ」に関する用語 -
Abstract
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本スタンダードは,
Flat Panel Display - Factory Automation Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので,Japanese Flat Panel Display - Factory Automation Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年4月30日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2004年7月発行に至る。
本文書は,
FPD基板が静的に保持された場合の物理的搬送に関する用語とその定義を定める。
ここで扱う用語と定義は,
FPD製造における前工程ならびに後工程の双方の基板に適応されるものとする。Referenced SEMI Standards
SEMI D9
SEMI D25
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D04000 - SEMI D40 - FPD基板の「たわみ」に関する用語
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