SEMI D52 - 基板IDの基準位置に関する仕様

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,

global Flat Panel Display – Factory Automation Committee で技術的に承認されている。現版は2008513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20086月にwww.semi.orgで,そして20087月にCD-ROMで入手可能となる。

 

E

 本文書は20089月に,誤字を訂正するため,編集上の修正がなされた。変更箇所は,¶6.1.3および
¶6.1.4
である。

 

本スタンダードでは,

D32で規定されたベア・ガラスIDの位置の規定は一箇所であり,大型化に伴い運用効率上複数の基板IDが必要である。そのため,D32を基本として効率的な運用を行える基板ID位置を規定するものである。

 

本スタンダードでは,基板

ID位置を2次元コード基準で位置を規定する。

 

個別に区別が必要なときにはベア・ガラス

IDもしくはレジンIDと呼称するが,区別の不必要な場合には総称として基板IDと呼ぶ。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00