SEMI D54 - FPD生産における基板管理(SMS-FPD)のための仕様

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Flat Panel Display – Factory Automation Committeeで技術的に承認されている。現版は2009513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20096月にwww.semi.orgで,そして20097月にCD-ROMで入手可能となる。

本文書は

200910月に編集上の修正がなされた。¶¶ 7.3.4.110.2.3.410.2.3.510.2.3.6.に変更が加えられている。

 

FPD

生産現場において自動化の対応が進んでいるが,現状は各工場が独自の仕様により製造装置の制御を行っている。このために製造装置の自動化対応のコストや立ち上げ期間という面で大きなロスを招いている。また,基板サイズがより大きなものへと移行することにより基板の枚葉搬送など新たなニーズに対応する必要もある。本書は,FPD生産現場において自動材料搬送システム (AMHS) や製造装置の基板受け渡しに関する自動化のための標準的な挙動を記述するものである。

 

本文書は,

FPD生産現場に導入される製造装置への基板搬入出を行うためのトランスファポイント(受け渡しポジション)におけるホスト・製造装置間の通信を扱うスタンダードである。

 

本文書は,自動および手動での基板搬送についてホストが情報を知り,その役割を果たし易くするスタンダードを定義するものである。また,製造装置における材料処理を制御するために有用になることも意図としている。具体的には,以下の内容を提供する。

  • 製造装置上のトランスファポイント(受け渡しポジション)のオブジェクト定義
  • 製造装置上のトランスファポイント(受け渡しポジション)のオブジェクト状態モデル
  • 製造装置上のトランスファポイント(受け渡しポジション)のオブジェクトへのサービスコマンド
  • 製造装置上のトランスファポイント(受け渡しポジション)の挙動

 

本書は,製造装置における基板搬入出を行うための受け渡しポジションを明確に定義し,基板受け渡しの制御を行う上で有用となるインタフェースに関しての記述を行っているが,工場内に設置された基板搬入出を行うための

AMHSにも適用可能である。ただし,それら製造装置以外に適用する場合は,各設備メーカーにて適用性を判断し,実装すべきである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI D51 — Specification for Handshake Protocol of Single Substrate for Handling off/on Tool in FPD Production

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

SEMI E40 — Standard for Processing Management

SEMI E41 — Exception Management (EM) Standard

SEMI E53 — Event Reporting

SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking

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