SEMI E1 - プラスチックおよびメタルのオープンウェーハキャリアの仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は20091216日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201010月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1979年発行,前版は200211月に発行された。


本仕様は,3インチ,100 mm125 mm150 mmウェーハを加工処理する際に使用するプラスチックおよびメタルウェーハキャリアの寸法上の要求事項を示す。また,200 mm ウェーハキャリアについて,仕様ではないが,関連情報を含む。


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