SEMI E1 - プラスチックおよびメタルのオープンウェーハキャリアの仕様 -

Abstract

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免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

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本仕様は，3インチ，100 mm，125 mm，150 mmウェーハを加工処理する際に使用するプラスチックおよびメタルウェーハキャリアの寸法上の要求事項を示す。また，200 mm ウェーハキャリアについて，仕様ではないが，関連情報を含む。

本仕様には，一般用と自動搬送用の二種類がある。

一般用は3インチ，100 mm，125 mm，150 mmのウェーハを扱う基本ガイドラインである。

自動搬送用は，ウェーハキャリアと自動ウェーハプロセス装置のインタフェースの使用上の要求事項を満たすものである。自動搬送用は125 mmウェーハサイズを対象としている。

200 mm ウェーハサイズ（要求事項ではないが，過去の課題）についての関連情報をもいくつか含む。

 

本仕様を満たすためには，キャリアは所定の寸法内で製造しなければならず，製造者の指定する条件下の使用では，本仕様の範囲内で寸法的に安定していなければならない。

 

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

None.

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