E00109 - SEMI E1.9 - 300 mmウェーハ搬送および保管用ウェーハカセットの機械仕様

SEMI E1.9 - 300 mmウェーハ搬送および保管用ウェーハカセットの機械仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements/System Requirements

Revision: SEMI E1.9-1106E (Reapproved 0512) - Inactive

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Physical Interfaces & Carriers Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1994年発行。前版は2006年7月発行。

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本スタンダードは，IC製造工場において300 mm径ウェーハの搬送および保管に使用されるカセットを規定する。これには，手動・自動両方の搬送用途と同様にプロセス装置におけるウェーハの高速取り出しも含まれる。

　

本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにておいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。本仕様におけるほとんどの要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，表面仕様が要求されることはほとんどない。カセットに対するメカニカルインタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。しかしながら，金属製や射出成型プラスチック製のカセットの両方がスタンダードに適合して製造できるように，本スタンダードは作成されている。

　

カセットは次の構成部分と付加構造よりなる。"†"印は取り外し不能な（ノンリムーバブル）カセットに必要な構成部分や構造を示す（カッコ内は個数を示す）。

　

凡例：

  • 要求される構造

  • オプション構造

  • トップドメイン　（1）

  • 光学ウェーハセンシングパス　（2）

  • ロボティックハンドリングフランジ（オプション）　（4）

  • トップカセットIDタグ領域（オプション）　（1）

  • サイドドメイン（2または4）（必要な場合，前面に2，裏面に2）

  • 10 mmのウェーハピッチの（13枚または25枚用）ウェーハ支持機構　†

  • 各前方サイドドメイン上の光学カセットセンシングホール　（1）

  • 前方右サイドドメイン上のカセットIDタグ領域（オプション）　（1）

  • ウェーハ飛び出し防止機構（オプション）

  • 各前方サイドドメイン上の正五角形のサイドグリップピット（オプション）　（2）

  • ボトムドメイン　（1）

  • 光学ウェーハセンシングパス　（2）

  • キャリアセンシングパッド　（5）†

  • インフォパッド　（4）†

  • ポッドラッチピンホール　（1）

  • コンベヤレール　（2）

  • フォークリフトピックアップ領域　（2）

  • フォークリフトピンホール　（2）

  • キネマティックカプリングピンと結合し10 mmのリードイン（自動求心）を確保する機構　（3）†

  • キネマティックカプリングピンと結合し15 mmのリードイン（自動求心）を確保する機構　（オプション）　（3）

  • ボトムカセットIDタグ領域（オプション）　（1）

  • その他の構造

  • 水平方向のウェーハセンシングパス

  • エンドエフェクタ排除領域　†

　

Referenced SEMI Standards

SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers

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